Kesin
- Wsa için ölçüm aralığı 0,1 ila 1 µm, ölçüm aralığı Ra 0,3 ila 3 µm,
RPc 30 ila 120 cm -1 - Çözünürlük Wsa 0,001 µm, çözünürlük Ra 0,01 µm
- Maksimum 1 Hz'e kadar ölçüm frekansı Wsa ölçümü
- 0,8 veya 2,5 mm seçilebilir kesme ile Ra ölçümleri
- WMS ölçüm yönü, yuvarlanma yönüne paralel
- Görüş alanı 1,2 x 0,4 mm, ölçüm çizgisi 1200 x 3,5 µm (prob ucu gibi uzamsal çözünürlük)